재료공학 솔루션 분야 글로벌 선도 기업 어플라이드 머티어리얼즈가 고유의 전자빔(eBeam) 계측 시스템을 21일 공개했다.
어플라이드 ‘PROVision 3E (프로비전 3E) 시스템’은 빠른 이미징 스피드를 활용한 웨이퍼 레벨의 대규모 실 패턴 디바이스(on-device & across-wafer) 계측 및 레이어 투과 이미징(through-layer) 측정을 기반으로 패터닝 제어를 위한 플레이북을 지원한다.
첨단 칩은 …
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