어플라이드 머티어리얼즈, 첨단 로직 및 메모리 칩 패터닝에 필요한 새로운 플레이북 지원하는 전자빔 계측 시스템 공개

재료공학 솔루션 분야 글로벌 선도 기업 어플라이드 머티어리얼즈가 고유의 전자빔(eBeam) 계측 시스템을 21일 공개했다.

어플라이드 ‘PROVision 3E (프로비전 3E) 시스템’은 빠른 이미징 스피드를 활용한 웨이퍼 레벨의 대규모 실 패턴 디바이스(on-device & across-wafer) 계측 및 레이어 투과 이미징(through-layer) 측정을 기반으로 패터닝 제어를 위한 플레이북을 지원한다.

첨단 칩은 …